牛津電子(zǐ)束(shù)鍍膜(mó)機對環境的要求(qiú)
，一(yī)般包(bāo)括真空設備對所(suǒ)處(chù)實驗室(或(huò)車間)的溫(wēn)度
、空氣(qì)中的微粒等周(zhōu)圍環境的要求(qiú)和對處(chù)於真空狀態或(huò)真空中的零件或(huò)表面要求(qiú)兩(liǎng)個方面
。
這兩(liǎng)個方面是(shì)有密切聯繫的
。周(zhōu)圍環境的好(hǎo)壞直接(jiē)影響真空設備的正常使用
；而真空設備的真空室或(huò)裝(zhuāng)入裡面的零件是(shì)否清洗
，又直接(jiē)影響設備的性能
。
如果空氣(qì)中含有大量的水蒸氣(qì)和灰塵
，在真空室沒有經過清洗的情況下用油封機械泵(bèng)去抽氣(qì)
，要達到(dào)預期的真空度很難的
。油封式機械泵(bèng)不(bù)宜抽除對金(jīn)屬(shǔ)有腐蝕性
、對真空油其反應的以含有顆粒塵埃的氣(qì)體
。水蒸氣(qì)為可(kě)凝性氣(qì)體
，當大量抽除可(kě)凝性氣(qì)體時
，對泵(bèng)油的污染會更加(jiā)嚴重
，結(jié)果使泵(bèng)的極限真空下降
，破壞了泵(bèng)的抽氣(qì)性能
。
牛津電子(zǐ)束(shù)鍍膜(mó)機工業(yè)環境中的粉(fěn)塵是(shì)以粉(fěn)狀體
、眼無題(tí)
、粉(fěn)塵來區(qū)分(fèn)的
。粉(fěn)狀體是(shì)粉(fěn)末或(huò)固體顆粒的集合(hé)或(huò)分(fèn)散狀態的物質
。所(suǒ)謂粉(fěn)末是(shì)指微小(xiǎo)的固體顆粒的集合(hé)
，而顆粒是(shì)指能夠一(yī)個一(yī)個計數的微小(xiǎo)物質
。
煙霧體是(shì)以固體或(huò)液體的微小(xiǎo)顆粒呈浮狀態存(cún)在於氣(qì)體中的物質體系 。物質無論是(shì)固體還是(shì)液體
，凡是(shì)呈顆粒狀態均可(kě)統稱為塵粒
。以塵粒直徑的大小(xiǎo)來確定(dìng)空氣(qì)清潔度的標準
，從而定(dìng)制(zhì)出潔淨室的等級
。牛津電子(zǐ)束(shù)鍍膜(mó)機不(bù)僅適合(hé)於有潔淨要求(qiú)的工業(yè)部門
，也適合(hé)於真空對潔淨環境的要求(qiú)
。
