光(guāng)學薄膜測厚儀 薄膜表面或界面的反射光(guāng)會與從基底的反射光(guāng)相(xiàng)干涉 ，干涉的發(fā)生與膜厚及折光(guāng)系數(shù)等有關
，因此可通過(guò)計算得到薄膜的厚度 。光(guāng)干涉法是(shì)一種無損(sǔn) 、且快(kuài)速的光(guāng)學薄膜厚度測量技術 ，我們的薄膜測量系統採用光(guāng)干涉原