牛津電子束(shù)鍍膜(mó)機是化合(hé)物半導體器(qì)件(jiàn)製作(zuò)中的一(yī)種重要(yào)工藝技術 。它是在高真空狀(zhuàng)態下由電子束(shù)加熱(rè)坩堝中的金屬(shǔ) ，使其熔融後蒸發到所(suǒ)需基(jī)片上(shàng)形成金屬(shǔ)膜(mó)

VS5電阻式(shì)熱(rè)蒸發鍍膜(mó)機是英國(guó)牛津真空公司(sī)生產 ，台式(shì)設(shè)計 、軟件(jiàn)自(zì)動操(cāo)控
、高性價比 ，非常適合(hé)實驗室科研使用 。 通過加熱(rè)蒸發某種物質使其沈積(jī)在固體表面 ，稱為熱(rè)蒸發鍍膜(mó) ，熱(rè)蒸發鍍膜(mó)技術是歷史悠久的PVD鍍膜(mó)技術之一(yī) 。熱(rè)蒸發鍍膜(mó)機一(yī)般主(zhǔ)要(yào)用於(yú)蒸發Cd 、Pb 、Ag 、Al 、Cu 、Cr 、Au 、Ni等材料 。以下為蒸發鍍膜(mó)設(shè)備的示意圖 。

電子束(shù)蒸發系統是化合(hé)物半導體器(qì)件(jiàn)製作(zuò)中的一(yī)種重要(yào)工藝技術
。它是在高真空狀(zhuàng)態下由電子束(shù)加熱(rè)坩堝中的金屬(shǔ) ，使其熔融後蒸發到所(suǒ)需基(jī)片上(shàng)形成金屬(shǔ)膜(mó) 。可蒸發很多難熔金屬(shǔ)或者蒸汽壓(yā)低的金屬(shǔ)材料 ，包括Ta , W , Mo , Rh , C , B , Pt , Al2O3 , ZnO , Pr2O3…VS5電子束(shù)蒸發鍍膜(mó)機是英國(guó)牛津真空公司(sī)生產 ，台式(shì)設(shè)計 、軟件(jiàn)自(zì)動操(cāo)控 、高性價比 ，非常適合(hé)實驗室科研使用 。

原(yuán)子層沈積(jī)系統 ，包括 ：傳統的熱(rè)原(yuán)子層沈積(jī)系統（TALD） 、等離(lí)子增強(qiáng)原(yuán)子層沈積(jī)系統（PEALD） 、粉(fěn)末樣(yàng)品(pǐn)的原(yuán)子層沈積(jī)系統（Power-ALD） 。