電子束蒸發源是利(lì)用熱陰極發射電子在電場(chǎng)作用下成為高(gāo)能量密度的(de)電子束直接轟擊到鍍料(liào)上
。動能轉化為熱能
,使(shǐ)鍍料(liào)加(jiā)熱汽化
,完成蒸發鍍膜
。
真空(kōng)中制備膜層可(kě)防(fáng)止膜料(liào)和鍍件表面的(de)污染
,消除空(kōng)間碰撞
,提高(gāo)鍍層的(de)致密性和可(kě)制備單一化合物的(de)特(tè)殊功(gōng)能的(de)鍍層
。
電子束鍍膜機為了(le)提高(gāo)鍍層厚度的(de)均勻性
,鍍在真空(kōng)室中夾有行星機構(gòu)或旋轉運動的(de)裝置
,如一個行星的(de)運動模式
,運動模式的(de)膜均勻性好
,鍍層的(de)台階覆蓋性能好
,承載能力大
,可(kě)充分利(lì)用有效空(kōng)間的(de)真空(kōng)鍍膜室
,是一個運動的(de)常用模式
。排(pái)氣系統一般由(yóu)機械泵
,擴散泵
,管(guǎn)道和閥門組(zǔ)成
。為了(le)提高(gāo)泵的(de)流(liú)量
,可(kě)以添加(jiā)增壓(yā)器之間的(de)機械泵和擴散泵
。
因此
,不(bù)僅在較短的(de)時間內低壓(yā)力以保證快速的(de)工(gōng)作循環的(de)排(pái)氣系統
,還需(xū)要確保氣體(tǐ)的(de)蒸發源和蒸鍍工(gōng)件表面產生快速的(de)去除
。
電子束鍍膜機是專業(yè)在塑料(liào)表面進行蒸發鍍鋁的(de)特(tè)別設備
,它成膜速率快
,膜層牢固
,色(sè)澤鮮亮
,膜層不(bù)易受污染
,電鍍設備可(kě)獲得致密性好
、純度高(gāo)
、膜厚均勻的(de)膜層
,不(bù)產生廢液(yè)
、廢水
,可(kě)避免(miǎn)對環境的(de)污染
,是大規模生產的(de)理想設備
。設備應用廣泛
,主要有汽車反光網
、工(gōng)藝品
、首飾
、鞋帽
、鐘錶
、燈(dēng)具
、裝飾等行業(yè)
。
電子束鍍膜機的(de)優點
:
1
、電子束加(jiā)熱比電阻(zǔ)加(jiā)熱具有更(gèng)高(gāo)的(de)通量密度
,可(kě)以蒸發高(gāo)熔點材料(liào)
,如W
、Mo
、Al2O3等
,並可(kě)得到較高(gāo)的(de)蒸發速率
;
2
、被蒸發材料(liào)置於水冷銅坩堝內
,電子束鍍膜機可(kě)避免(miǎn)坩堝材料(liào)污染
,可(kě)制備高(gāo)純薄膜
;
3
、電子束蒸發粒子動能大 ,有利(lì)於獲得致密
、結(jié)合力好的(de)膜層
。