牛津電子束鍍膜機(jī)是一種高科技(jì)的(de)表面處理設備
,通過高能電子束在(zài)物(wù)質(zhì)表面形成穩定而均勻的(de)塗(tú)層
,從而提(tí)高材料本身的(de)耐磨
、耐腐蝕
、保護(hù)環境等方面的(de)性能 。這(zhè)種設備廣(guǎng)泛應(yīng)用於(yú)航空航天
、汽車
、電子
、儀器(qì)儀表等領域
。
牛津電子束鍍膜機(jī)是化合物(wù)半導體器(qì)件製作中的(de)一種重要工藝技(jì)術
。它(tā)是在(zài)高真(zhēn)空狀態下由電子束加熱坩堝中的(de)金(jīn)屬
,使其熔融後蒸發(fā)到所(suǒ)需基(jī)片(piàn)上(shàng)形成金(jīn)屬膜
。可(kě)蒸發(fā)很多難熔金(jīn)屬或者(zhě)蒸汽壓低(dī)的(de)金(jīn)屬材料
,包括Ta
, W
, Mo
, Rh
, C
, B
, Pt
, Al2O3
, ZnO
, Pr2O3…VS5電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)是英(yīng)國牛津真(zhēn)空公司(sī)生產
,台式設計(jì)
、軟件自動操(cāo)控
、高性價比
,非常適合實驗室(shì)科研(yán)使用
。牛津電子束鍍膜機(jī)的(de)核心(xīn)技(jì)術是電子束物(wù)理學
。其原理是將一束速度極快的(de)電子流聚焦成微小的(de)束
,並使它(tā)以高速度轟擊物(wù)體表面
,在(zài)產生的(de)瞬間高溫(wēn)和大氣壓力下
,物(wù)質(zhì)表面便會產生化學反應(yīng)
,從而形成一層均勻致密的(de)塗(tú)層
。
牛津電子束鍍膜機(jī)技(jì)術規(guī)格包括基(jī)底(dǐ)尺(chǐ)寸(3英(yīng)寸
,4英(yīng)寸
,6英(yīng)寸)
、基(jī)底(dǐ)旋轉(0~10rpm)
、電子束源(yuán)(Telemark電子束源(yuán)
,單袋或多袋電子束源(yuán)可(kě)選)
、熱蒸發(fā)源(yuán)(多配置2套熱蒸發(fā)舟)等
。這(zhè)種設備台式設計(jì)
、軟件自動操(cāo)控
、高性價比
,非常適合實驗室(shì)科研(yán)使用
。
需要注意(yì)的(de)是
,使用牛津電子束鍍膜機(jī)時
,應(yīng)嚴格遵守設備操(cāo)作規(guī)程
,確保安全操(cāo)作
。