電(diàn)子束鍍膜機的常見故障要(yào)從它的系統組成(chéng)幾個部(bù)分說起 ，系統主要(yào)由蒸發真空室 、E型電(diàn)子槍 、熱蒸發電(diàn)極 、旋(xuán)轉(zhuǎn)基片加熱台(tái) 、工(gōng)作氣路(lù) 、抽氣系統 、真空測量 、電(diàn)控(kòng)系統及(jí)安(ān)裝機台(tái)等部(bù)分組成(chéng) 。

　　首先說真空系統的部(bù)分 ，可能出現的故障有 ：

　　閥(fá)門問(wèn)題 ，各(gè)種閥(fá)門打不(bù)開 ：出現各(gè)種閥(fá)門打不(bù)開的情況時 ，首先檢查閥(fá)門各(gè)屬器室的閥(fá)門有無關到位 、氣壓(yā)是不(bù)是正常 ，如果(guǒ)上述的條件(jiàn)都正常但是仍舊不(bù)能工(gōng)作的情況下 ，則應對照系統電(diàn)氣原(yuán)理圖檢查各(gè)執行器件(jiàn)供電(diàn)迴路(lù)是否正常 ，逐一進行排除
。

　　其次是電(diàn)子束鍍膜機工(gōng)件(jiàn)轉(zhuǎn)動系統的問(wèn)題 ：

　　轉(zhuǎn)速不(bù)對或者根本不(bù)轉(zhuǎn) ，一般這種情況下有三種可能 ：

　　一 、工(gōng)作轉(zhuǎn)盤不(bù)轉(zhuǎn)動 ：可能原(yuán)因有 ，機械轉(zhuǎn)動系統壞了(le) 、電(diàn)機損壞 、電(diàn)壓(yā)不(bù)正常 。這種情況下我們(men)可以調動系統使其靈活 、檢查電(diàn)機繞組是否短路(lù)燒壞了(le) 、檢查電(diàn)機調速器的輸(shū)出情況
。

　　二 、轉(zhuǎn)速不(bù)可調節 ：可能原(yuán)因有
，調速器給定(dìng)電(diàn)壓(yā)不(bù)正常以及(jí)調速器工(gōng)作不(bù)正常 。這種情況下我們(men)可以檢查調速器給定(dìng)電(diàn)壓(yā)情況 、檢查給定(dìng)電(diàn)位器及(jí)其外部(bù)連接是否完(wán)好 、檢查調速器或更換 。

　　三 、轉(zhuǎn)速不(bù)穩(wěn)定(dìng) ：可能原(yuán)因有 ，機械轉(zhuǎn)動系統不(bù)平衡 、電(diàn)氣接觸不(bù)良 、調速器參數發生變化
。這種情況下我們(men)可以檢查並(bìng)轉(zhuǎn)動系統 、檢查給定(dìng)電(diàn)機及(jí)電(diàn)速器連接是否完(wán)好 、檢查調速器或更換 。

　　最後(hòu)是工(gōng)件(jiàn)烘烤系統 ：

　　一 、溫度失控(kòng) ，恆溫不(bù)穩(wěn)定(dìng) ：可能原(yuán)因有 ，溫控(kòng)儀(yí)工(gōng)作失常 、調功器輸(shū)出不(bù)能調節 、熱電(diàn)偶位置欠妥 。這種情況下我們(men)可以檢修更換溫控(kòng)儀(yí) 、檢查調功器工(gōng)作情況 、調整熱電(diàn)偶位置 。

　　二 、跳閘 ：可能原(yuán)因有 ，自(zì)身短路(lù) 、絕緣降低 、電(diàn)阻太小
。電(diàn)子束鍍膜機這種情況下我們(men)可以檢修加熱器件(jiàn)重新調整到正常工(gōng)作 、清(qīng)洗蒸發物質檢查絕緣物質是否破損提高真空度 、選擇(zé)較低的輸(shū)出電(diàn)壓(yā)待溫度升高再提高電(diàn)壓(yā) 。