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描述 :QRUI-1系列(liè)探針台 :基於高(gāo)校教育(yù)與實驗室而研發的基礎型晶圓測(cè)試探針台 。
| 品牌 | 其他品牌 |
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QRUI-1系列(liè)探針台產(chǎn)品簡介 :
QRUI-1系列(liè)探針台是我司一款基於高(gāo)校教育(yù)與實驗室而研發的基礎型晶圓測(cè)試探針台 。其結(jié)構緊湊 ,設計精密 ,價(jià)格(gé)實惠 ,在高(gāo)等院校教學(xué)和小型實驗室科(kē)研過程中得到廣(guǎng)泛運用 。配合對應的儀器儀表(biǎo) ,可以用於測(cè)試各(gè)類器件的 IV/CV ,PIV ,光電信號(hào)等 。也可以放置於手套箱內 ,配合特(tè)殊氣氛使用 。一般適用於學(xué)校和工廠小型實驗室 。
QRUI-1系列(liè)探針台產(chǎn)品優勢 :
1.探針台與顯示(shì)器一體化設計 ,大(dà)大(dà)減小了設備的佔地空間
2.具(jù)備自適應減震系統(tǒng) ,一定程度上可防止外界震動的干擾
3.U 型平台鍍鎳設計 ,不僅增大(dà)了針座的加載空間 ,還提高(gāo)了針座平台和針座之間的吸附力
詳細參數(shù) :
產(chǎn)品型號(hào)
技術(shù)參數(shù) | QRUI-1-100 | QRUI-1-150 | QRUI-1-200 | QRUI-1-300 | |
探針台 本體 | 電壓(yā)電流(可定制) | 500V/1A(標準(zhǔn)) | 500V/1A(標準(zhǔn)) | 500V/1A(標準(zhǔn)) | 500V/1A(標準(zhǔn)) |
材料 | 航空鋁 | ||||
自適應減震系統(tǒng) | 具(jù)備自適應減震系統(tǒng) , 一定程度上可防止外界震動的干擾 | ||||
卡盤(pán)大(dà)小 | 4 英(yīng)寸 ,360 度轉動 ,可微調 | 6 英(yīng)寸 ,360 度轉動 ,可微調 | 8 英(yīng)寸 ,360 度轉動 ,可微調 | 12 英(yīng)寸 ,360 度轉動 ,可微調 | |
卡盤(pán)行(xíng)程和精度 | 4 英(yīng)寸*4 英(yīng)寸 ,精度 2um | 6 英(yīng)寸*6 英(yīng)寸 ,精度 2um | 8 英(yīng)寸*8 英(yīng)寸 ,精度 2um | 8 英(yīng)寸*8 英(yīng)寸 ,精度 2um | |
卡盤(pán)吸附方式 | 真(zhēn)空吸附 , 可選擇環形(xíng)吸附或者多(duō)孔吸附 (適用於薄片或者射(shè)頻器件) | ||||
背電極測(cè)試功(gōng)能 | 具(jù)備 ,樣品台電學(xué)獨立懸空 ,帶 4mm 香蕉頭插口 | ||||
針座平 台 | 材質 | U 型平台 ,鍍鎳 ,與探針座之間具(jù)備更(gèng)強吸附力 | |||
大(dà)小 | 最(zuì)多(duō)可放置4個探針座 | 最(zuì)多(duō)可放置6個探針座 | 最(zuì)多(duō)可放置8個探針座 | 最(zuì)多(duō)可放置12個探針座 | |
顯示(shì)系 統(tǒng) | 顯微鏡 | 體式顯微鏡/視(shì)頻顯微鏡 (注意視(shì)場) +CCD成像系統(tǒng) | |||
倍率範圍 | 15X~200X/60X~420X | ||||
調焦範圍 | 50.8mm | ||||
顯微鏡移動 | 顯微鏡可繞立柱360度旋轉 ,帶2英(yīng)寸高(gāo)精度顯微鏡調焦機構 ,帶顯示(shì)器支架 | ||||
CCD 成像系統(tǒng) | 200 萬/500萬像素 ,幀率 60fps ,帶拍照/錄(lù)像/測(cè)量(liàng)功(gōng)能等功(gōng)能 | ||||
探針座 | 種類 | DMP-200/100/80/75 | |||
X-Y-Z 行(xíng)程 | 12mm-12mm-12mm | ||||
機械(xiè)精度 | 0.5um/0.7um/2um/3um | ||||
夾具(jù) | 漏電精度 | 10pA/100fA/20fA | |||
接口形(xíng)式 | 香蕉頭/鰐魚夾/coax/triax接口/SMA/裸線等 | ||||
其它(tā) | 選件 | 屏蔽箱/防震桌/射(shè)頻/同軸/三軸加熱卡盤(pán)/顯微鏡萬向支架等 | |||
電力需(xū)求(qiú) | 220V/50HZ ,10A | ||||
詳細配置方案可討論後給出
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